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自動化光學檢測技術,為結合光學感測系統、訊號處理系統、分析軟體等所組成。AOI技術的應用領域,從太空/衛星探測、航空遙測、生物醫學的X光/同位素/超音波成像技術的應用,軍警保全監控上的指紋比對、字跡辨識、人臉辨識、進而機器人、智慧交通工具的自動化控制等機器視覺的進一步應用。
近年來半導體/液晶面板/光通訊產業,以及金屬鋼鐵業、食品加工/包裝業、紡織皮革工業、汽車工業、建筑材料等,需要應用工業自動化以提升品管檢驗品質。特別是IC與被動元件、硅晶圓、PCB電路板、LCD液晶面板、BGA陣列、太陽能電池等光電轉換元件,除了電性檢驗之外,外觀、表面瑕疵、組裝位置偏移等也必須做到百分之百的全檢。
利用AOI設備的取像設備,以非接觸式方式檢查成品,藉由電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵,而AOI設備可以部署于生產線的節點中間來檢查半成品,同時不影響產能。因此AOI設備成為這些半導體產業中比重甚高的必要投資。
AOI設備為FPD、晶圓、PCB產業提升自動化與檢測品質
一套AOI設備由叁大部件組成:1.取像設備:如照明設備(光源)、光學裝置(鏡頭)、CCD攝影機;2.影像處理單元:由個人電腦或嵌入式系統,加上高解析度影像擷取卡與顯示器,搭配品質檢測的軟體/資料庫;3.具備可程式邏輯控制器(PLC)的機構與驅動單元:(南京PCB)如取用檢品的輸送帶或機器人手臂,相關輸送/取用裝置的介面卡與驅動程式等所組成。每個設備單元透過像是、機器視覺/影像擷取模組的高速銅軸纜線介面(~25Gbps)、乙太供電網路與工控等網路/匯流排連接。
而廠商瞄準AOI設備市場,也會依品管檢驗的產能與復雜度,設計出整合為一個單一機臺外觀的設備,或者由PC桌機為主體,搭配取像設備、驅動機構單元所部署的儀器,特別是由AOI設備機臺常見于產能全開的生產線節點,一般由設備儀器商從內外採購關鍵零組件,并自行整合研發。
在工業界/半導體的自動光學檢測設備主要廠商,臺灣廠商部份有精映科技、大元科技、常鴻新科技、晶彩科技、德律科技、由田新技、宇創視覺科技 、漢民微測科技,漢微科、鴻勁、汎銓科技、宇柏林等。負責半導體硅晶圓/印刷電路板/IC檢測設備的研發製造,或從外代理。
而PC AOI節點則具備彈性化、少量多樣且具備成本效益,是塬先在工控電腦廠商耕耘許久的廠商,如研華、艾訊、新漢 等適合切入的目標。無論是機臺還是PC搭設備,具備成本效益、設計上容易使用,以及提供模組與彈性化的硬體,以及速度快且可靠度高,不會誤判的軟體,是AOI儀器/設備廠商勝出的關鍵。
AOI設備土洋爭霸 業者籌組聯盟并結合產官學深耕
AOI 技術涵蓋了光電技術、機構(電機、機械、自動化控制)與演算法(資工、工業工程、數學)叁大領域。除了上述臺灣AOI設備商之外,大陸有神州視覺科技 (Aleader)、深圳易科訊科技(ekt-Tech)、廣東力德創(LeadAOI);日本則有Takano、KGK、日立(Hitachi)、V Technology、太洋工業(Taiyo-xelcom);韓則有Ajuhitek、叁星(Samsung)等廠商;以色列奧寶科技 (Orbotech)、Camtek等;德則有Mikrotron等AOI設備供應商,提供各式AOI檢測設備/機臺。
外AOI設備業者優勢在于:1.時間優勢:(南京PCB)當外製程引進時,相關之AOI設備已同步就緒,隨時引進臺灣;2.光學技術優勢:以日本與德光學技術成熟,臺灣則無相關研究機構;3.顧客信心優勢:其實在機構、電腦硬體與軟體,臺灣設備商與外廠商技術已不相上下,但考量像是光學技術與品牌效應下,顧客對外設備的信賴程度仍遠高于臺灣設備商。
以PCB檢測設備領導廠商以色列奧寶科技(Orbotech),以LDI雷射直接成像技術、Ultra Fusion系列的AOI自動光學檢測技術等在業界享譽盛名。該公司預先掌握5年后的PCB檢測/量產技術,同時察覺從智慧手機、平板電腦到穿戴式裝置的出現,驅使PCB產業朝高密度互連(High Density Interconnect;HDI)甚至任意層(Any Layer HDI)電路板的應用邁進,使用到40/40μm線寬、間距300μm的PCB越來越普遍,也帶動高精密度檢測儀器的需求。該公司針對軟板PCB推出 Ultra Fusion系列AOI光學檢測機臺,支援卷對卷及片對片生產模式,可因應類似iPhone這類需要多組不同尺寸軟板PCB的機臺到生產線的整合,精簡 PCB產線人力。
而臺灣AOI設備業者的優勢,在于以具備彈性的設計能力、較低成本以及貼近本地市場的在地需求,針對客戶提供客製化且開發時間短的機臺設備與部署能力。但面對外AOI設備廠商,臺灣AOI設備商產業面臨關鍵元件/技術仰賴美、日、歐洲進口,從光學鏡頭、高解析度CCD攝影機、照明光源到精準判讀元件/線路偏移與瑕疵的影像函式庫,欠缺自主性且不利于整體產業發展。
有鑑于此,工研院量測技術發展中心自1990年投入多項量測儀器技術開發,并透過業界合作、技術移轉上市販售,進而推動多家合作儀器/設備廠商的上市柜。接下來聯合臺灣AOI設備廠,于2004年3月29日成立非營利性「自動光學檢測設備聯盟(Automatic Optical Inspection Equipment Association;AOIEA)」,結合產、官、學、研及使用者,一同開發臺灣主流產業——半導體、光電、寬頻通訊、電子製造、生技、微機電/奈米產業——之製程檢測設備/系統技術,以加速推動臺灣AOI設備產業的發展,并提升產業整體技術水準。
以E-Beam電子束掃描技術,成為全球E-Beam晶圓檢測設備龍頭的漢民微測科技指出,目前從整合製造商(IDM)到晶圓廠(Foundry),均積極投入1x奈米的3D立體鰭式場效電晶體(FinFET)製程研發,(南京PCB)由于FinFET是叁面立體結構且線寬微縮,除了以傳統光學掃描維持檢測吞吐量之外,仍須搭配電子束檢測機臺以滿足掃描解析度,確保終晶圓產出品質與可靠度。漢微科也將持續研發解析度達2奈米以下的晶圓檢測方案。
AOI聯盟會長指出,兩岸PCB市場產值從2013年回溫到新臺幣 6,000億元,而佔PCB設備投資約11%的AOI自動光學檢測設備,預估到2017年,全球AOI設備市場規模將達到17億美元。近年來產AOI設備商已在PCB、FPD站穩腳步,未來若能切入佔臺灣檢測設備市場60%的半導體產業,以及開拓體感游戲、人臉辨識等新興科技產業,將為臺灣AOI產業擴大全球商機并開拓應用新藍海。
市調機構指出,機器視覺系統與元件市場,在2013~2018年間將以8.2%的年復合成長率(CAGR),到 2018年市場規模達到50億美元;而整體智慧影像分析市場產值,至2020年將攀升至390億美元,未來市場前景高度可期。
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